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VD Series Ver.C是ULVAC原創(chuàng)的搭載了高效率（IE3）寬電壓電機(jī)的油回轉(zhuǎn)真空泵。 2段式旋片式到達(dá)壓力好，合適的設(shè)計實現(xiàn)了低噪音化，用途廣泛。愛發(fā)科油回轉(zhuǎn)真空泵VD30C VD60C VD90C維修

VD Series Ver.C是ULVAC原創(chuàng)的搭載了高效率（IE3）寬電壓電機(jī)的油回轉(zhuǎn)真空泵。 2段式旋片式到達(dá)壓力好，合適的設(shè)計實現(xiàn)了低噪音化，用途廣泛。日本進(jìn)口愛發(fā)科真空泵VD151 VD201維修

干泵LR/HR/UR series通過獨(dú)自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機(jī)種都能適用愛發(fā)科干式真空泵 HR/UR Series維修保養(yǎng)

干泵LR/HR/UR series通過獨(dú)自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機(jī)種都能適用愛發(fā)科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養(yǎng)

干泵GR series是以有實際和信賴的LR,HR系列為基礎(chǔ)，面向一般產(chǎn)業(yè)用途設(shè)計的簡單構(gòu)造泵。日本愛發(fā)科GR系列干式真空泵維修保養(yǎng)GR60A