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根據需求，也能夠提供CTI產的低溫泵。日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-TORR8維修

日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U30H維修適用于大型成膜裝置、太空艙等。擁有的排除水蒸汽的性能。

愛發科低溫真空泵、愛發科旋片泵、愛發科真空計。 日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U22P維修

日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U20P維修適用于大型成膜裝置以及批量式大型成膜裝置等大型生產裝置。

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