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輕量、緊湊、銷量高，低溫泵的標準。適用于實驗裝置與小型生產(chǎn)裝置。可以多臺運行（大3臺）。可以達到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U8H維修保養(yǎng)

能發(fā)揮4型的低溫泵的高排氣特性。高排氣速度對于排氣效率與生產(chǎn)性提高都能做出貢獻。特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。1臺壓縮機可以支持4臺低溫泵同時運作。可以按照用途的不同進行設計、制作。日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)

特點輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。適用於實驗室研究室的小型真空設備中。特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。可以多臺運行（大3臺）。可以達到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修

ULVAC的PBL型油擴散噴射泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。愛發(fā)科油擴散噴射真空泵 PBL系列維修保養(yǎng)

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。愛發(fā)科油擴散真空泵PFL系列PFL-22維修保養(yǎng)